SiC-MEMS и сенсоры для экстремальных условий: обзор технологий
Когда обычный кремниевый датчик давления отказывает при 300°C, а металлические мембраны начинают ползти от коррозии, многие вспоминают карбид кремния. SiC давно перестал быть только материалом для силовой электроники: сегодня он уверенно выходит в область сенсоров, микромеханики и устройств, обязанных работать там, где кремний уже сдаётся, — при высокой температуре, в агрессивной химии, под радиацией и при […]